「ARTCAM-400SX-USB3」は、Gpixel社製センサー「GSENSE400BSI-PS」を搭載した真空対応ヘッド分離型の裏面照射sCMOSカメラであり、EUV(極端紫外線)や軟X線の直接測定に最適です。
このカメラは、センサー基板が分離型のため、真空導入が容易で、科学や産業の分野での幅広い応用が期待できます。
さらに、ペルチェ導入端子により真空冷却にも対応し、安定した長時間の使用が可能です。
高感度で、エネルギー80~1000eVの範囲で量子効率が90%以上、低雑音(1.6e-rms)のsCMOSセンサーを採用しており、精密な測定を実現します。
型式 | インター フェース |
分光感度表 | 画素数 | センサメーカー | 搭載センサ | 有効撮像面積 (mm) (H)×(V) |
出力画素数 | 撮像部対角線 | 画素サイズ (μm) (H)×(V) |
主たる検知 エネルギー範囲 |
出力ビット数 |
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ARTCAM-400SX-USB3 | USB3.0 | 分光感度表は こちら |
400万 | Gpixel | GSENSE400BSI-PS | 22.5×22.5 | 2048×2048 | 31.8mm | 11×11 | 80~1000eV | 12bit |
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