EUV/软X射线照相机 ARTCAM-400SX-USB3

“ARTCAM-400SX-USB3”搭载Gpixel生产的“GSENSE400BSI-PS”背照式sCMOS传感器，采用真空兼容的前端分离式结构，可直接测量EUV（极紫外线）及软X射线。 相机采用分离式传感器基板，便于在真空系统中集成，预计将在科研与工业领域得到广泛应用。

此外，配备的珀尔帖（Peltier）冷却接口也支持真空环境下的冷却，有助于实现设备在长时间运行中的稳定性。

本相机搭载的高灵敏度sCMOS传感器在能量80～1000eV范围内具备90%以上的量子效率，并保持低噪声水平（1.6 e⁻rms），适用于高精度测量场景。